RU
Выбрать язык
CN BY EN
МЕНЮ
Изготовление фотошаблонов

Изготовление фотошаблонов

fotishablon.jpg
   Филиал «Завод полупроводниковых приборов» ОАО «ИНТЕГРАЛ» - управляющая компания холдинга "ИНТЕГРАЛ". Производство «ФОТЭК»
   (+375-17) 360 10 60 – начальник производства ФОТЭК
   (+375-17) 271 15 16 – зам. начальника производства ФОТЭК
   факс: 224 60 51, 338 12 94 (для производства ФОТЭК)
   E-mail:  STarasevich@integral.by , SBunas@integral.by
   

Наименование изделий Спецификации
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний 
в масштабе 10:1
1. Тип маскирующего слоя - хром
2. Минимальный элемент – 4 мкм
Разброс ± 0,15 мкм
3. Максимальный размер дефекта – 2,0 мкм; 1,5 мкм; 1,0 мкм
4. Точность совмещения в комплект масок - 0,8 мкм 
5. Размеры стекла:
127 х 127 х 2,6 мм (5˝кв. x 0,090″) – кальций-натриевое
127 х 127 х 2,6 мм (5˝кв. x 0,090″) – кварц
153 х 153 х 2,6 мм (6˝кв. x 0,090″) – кальций -натриевое
Промежуточные шаблоны для установок проекционной печати на кремний в масштабе 5:1 1. Тип маскировочного слоя - хром
2. Минимальный элемент – 2 мкм
Разброс ± 0,10 мкм
3. Максимальный размер дефекта – 2,0 мкм; 1,5 мкм; 1,0 мкм
4. Точность совмещения в комплекте масок – 0,6 мкм 
5. Размер стекла:
127 х 127 х 2,6 мм (5˝кв. x 0,090″) – кальций-натриевое
127 х 127 х 2,6 мм  (5˝кв. x 0,090″) – кварц
153 х 153 х 2,6 мм (6˝кв. x 0,090″) – кальций-натриевое
152 х 152 х 6,35 мм (6˝кв. x 0,250″) - кварц 
Рабочие шаблоны для контактной и проекционной литографии в масштабе 1:1 1. Тип маскировочного слоя - хром, оксид железа 
2. Минимальный элемент – 1,0 мкм
Разброс ± 0,10 мкм
3. Точность совмещения в комплекте ± 0,6 мкм
4. Размер стекла: 
102 х 102 мм (4″кв. x 0,090″)
127 х 127 мм (5″кв. x 0,090″)
153 х 153 мм (6″кв. x 0,090″) 
Дополнительные возможности при изготовлении шаблонов
 
1. Конфигурация распечатки рабочего поля – по желанию заказчика
2. Возможность распечатки на одном шаблоне любого количества вариантов топологии 

Шаблонные заготовки:
ПЖФ
ПХФ
ПХЭР
ПФ

1. Размеры заготовок
102 х 102 х 2,6 мм
127 х 127 х 2,6 мм
153 х 153 х 2,6 мм
2. Тип стекла: кальций-натриевое, кварц
3. Типы маскирующего слоя: хром, окись железа
4. Типы резиста: позитивный фоторезист, позитивный электронорезист
Напыление покрытий Материалы покрытий: серебро, никель, ванадий, алюминий, хром
Оптические защитные мембраны 1. На собственных рамках
2. На рамках заказчика
3. Для длин волн 365 нм, 405 нм и 436 нм
4. Пропускание 99±1%

ОАО "ИНТЕГРАЛ" также предлагает изготовление ИМС и полупроводниковых приборов на основе конструкции Заказчика (поставка по результатам функционального контроля), услуги полупроводникового производства - выполнение отдельных технологических операций или блоков операций (напыление металлов, осаждение пленок, выращивание эпитаксиальных слоёв, утонение обратной стороны пластины и т. п.), изготовление исходных кремниевых подложек по спецификации Заказчика, сборка и измерение приборов в пластмассовых и металлокерамических корпусах.

Задать вопрос