Технология изготовления тиристоров, триаков

Технология изготовления тиристоров, триаков

  • Характеристика процесса: Подложка                                                        КОФ35,
    10 фотолитографий (контактная, двухсторонняя)
    База: диффузия бора,
    глубина, мкм                                                     35-45
    Катод: диффузия фосфора, 
    глубина, мкм                                                     15-18
    Защита p-n переходов: SiPOS, Si3N4, СТФСС
    Металлизация:Al 2,0 мкм
    Пассивация:  НТФСС+ПХО
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
  • Применение, элементная база: Iос=2,0 А
    Uпроб=(600-800) В