Биполярная технология изготовления pnp-транзисторов с токами коллектора (7,5÷16) А

Биполярная технология изготовления pnp-транзисторов с токами коллектора (7,5÷16) А

  • Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура 
    Подложка                                      КДБ 0,05 (111)
    Толщина эпитаксиального слоя, мкм    25-28
    Удельное сопротивление, Ом x см             8-11
    7 фотолитографий (контактная)
    База: ионная имплантация фосфора,
    глубина, мкм                                                4,5-7,5
    Эмиттер: диффузия бора, 
    глубина, мкм                                                1,4-2,5
    Защита p-n переходов: SiO2,Ta2O5
    Металлизация: Al  4,0  мкм
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
  • Применение, элементная база: Uкб=(80-160) B
    Uкэ=(30-90) В
    Iк=(7,5-16) А
    h21э>15