Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (300-700)В

Биполярная технология изготовления npn-транзисторов с областью рабочих напряжений (300-700)В

  • Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура 
    Подложка:                                     КЭС 0,01 (111)
    Толщина эпитаксиального слоя, мкм     50-80
    Удельное сопротивление, Ом-см            40-50 
    7-8 фотолитографий (контактная)
    База:  ионная имплантация,
    Глубина, мкм                                                2,8-4,6
    Эмиттер: диффузия,
    глубина, мкм                                                 1,4-2,8
    Защита p-n перехода коллектор-база SiPOS
    Металлизация: Al 1,4; 4,5  мкм
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
    Пассивация: НТФСС(ПХО)
  • Применение, элементная база: Uкб=(300-700) B
    Uкэ=(300-400) В
    Iк=(0,5-8,0) А
    h21э=(8-40)