Биполярная технология изготовления мощных pnp-транзисторов Дарлингтона

Биполярная технология изготовления мощных pnp-транзисторов Дарлингтона

  • Характеристика процесса: Эпитаксиальная структура 
    Подложка                                          КДБ 0,05 (111):
    Толщина слоя, мкм                                         25-33
    Удельное сопротивление, Ом x см               10-18 
    6,7 фотолитографий (контактная)
    База: ионная имплантация фосфора,
    глубина, мкм                                                          6-8
    Эмиттер: диффузия бора, глубина, мкм  2,5-5,5
    Защита p-n переходов: SiO2,Ta2O5
    Металлизация: Al  4,5 мкм
    Обр. сторона: Ti-Ni-Ag
  • Применение, элементная база: Uкб=(60-70) B
    Uкэ=(60-70) В
    Iк=(2,0-12) А
    h21э>500