Биполярная технология изготовления мощных npn-транзисторов с рабочим напряжениям 1500В

Биполярная технология изготовления мощных npn-транзисторов с рабочим напряжениям 1500В

  • Характеристика процесса: Подложка:                                                КОФ 102-90
    8 фотолитографий (контактная):
    База: ионная имплантация глубина, мкм   20-26
    Эмиттер:        диффузия,
    глубина, мкм                                                        10-15 
    Защита p-n перехода коллектор – база:  SiPOS
    Металлизация:  алюминий 4,5 мкм
    Радиационная обработка для обеспечения динамики.
    Матирование обратной стороны
    Обратная сторона:  напыление Ti-Ni-Ag
  • Применение, элементная база: Uкэ=1500 B
    Uкэ=(700-800) В
    Iк=(5-12) А