15 В с изоляцией p-n переходом

15 В с изоляцией p-n переходом

  • Характеристика процесса: Количество фотолитографий, шт                              10-13
    Проектная норма, мкм                                                2.0
    Подложка:                                                     460КДБ10 (111)
    Скрытые слои:                                     6КЭС20/1.95КДБ210
    Эпитаксиальный слой:                                           8КЭФ4.5
    Изоляция:                                                          p-n переход
    Глубина p-базы, мкм                                                   2.4
    Глубина N+эмиттера, мкм                                          1.7
    Размер эмиттера, мкм                                                 6
    Расстояние между транзисторами, мкм                     6
    Коммутация:  контакты 1, мкм                                     4
    шаг 1 металл, мкм                                                       13
  • Применение, элементная база: Цифроаналоговые ИС малой и средней степени интеграции с Еп до 18 В
    Вертикальный NPN:
    Вn=150 Uce=28 В
    Горизонтальный РNP:
    Вр=35 Uсе=45 В
    Вертикальный РNP:
    Вр=35 Uсе=45 В
    Конденсатор: Ме-n+эмиттер.
    Резисторы в слое ПКК